Эв - Махсулатлар - Семиддуктор . - Кварц ташыйыджылары - Тафсилятлар

Кварц Вафер темизлейиджи къайыкъ

Кварц вафли темизлев къайыкъ — бу ярымкечириджи истисал джерьянында вафлини темизлемек ичюн къулланылгъан алеттир.
Материал : 99,99% иритильген кварц джамы (SiO₂)
Техника : Кесикмек, джылтыратмакъ, бургъу, гравировка ве иляхре.
Ольчю : Ойлеликнен
МОК : 1 пс .

Соргъу ёлламакъ .

Тариф

Вазифелер

Юксек араретке къаршы турмакъ .
Коррозиягъа къаршы турмакъ .
Къаршылыкъ киймек .
темизлемеге къолай .

Къулланмакъ

Юзьге кирлетиджилерни ёкъ этинъиз .
Ярымкечириджи чиплернинъ истисал кейфиетини темин этинъиз.

Иляве

Пре- Диффузия темизлев

Сылакъ скемле я да иммерсия темизлев адымлары (меселя, РКА темизлеви) ярдымынен вафлилерни ташув ичюн къулланыла, бу исе юксек- темпераментли диффузия я да оксидленюв джерьянларындан эвель органик, маденли ве парчачыкълы кирлетиджилерни ёкъ этмек ичюн.

Пост-СМП (химиявий механик планаризация) Темизлев

Пост- лятифелери вакътында сызгъырып, шлам къалдыкъларыны ве юзюнинъ къусурларыны ёкъ этмек ичюн темизлене, бу исе сонъки литография адымлары ичюн оптимал тегизликни темин эте.

Ог-Сонъки-фаркълы-Сызыкълы (ФЕОЛ) Фабрика

Къапу оксидининъ осьмеси, эпитаксиснинъ ерлешмеси я да ион имплантациясы ичюн ультра-клеш юзлери керек олгъан FEOL темизлевнинъ агъыр басамакъларында ишлетильген.

Аркъа-Сонъки-оф-Сызыкъ (БИЛЬ) ишлев

Фоторезист, граждан къошма махсулатлары ве маденли кирлерни бир-бирине багълангъан сонъ чыкъармакъ ичюн post-tch я да post- ерлешюв темизлев вакътында вафлилерни дестеклей.

Илери къаплама

2,5D/3D IC къапламасында wafer-севиени wafer-севиени ягълавдан эвель я да багъланувдан эвель къолайлаштыра, бу исе ишанчлы бири-бирине багъланмакъ ичюн ифраз- сербест интерфейслерини темин эте.

Фотоэлектрик истисалджысы

Кремний субстратларыны темизлемек ичюн кунеш батареялары чыкъарувында къулланыла, ярыкънынъ синъдирильмеси ве энергияны чевирюв эффективлигини яхшылаштырмакъ ичюн юзюнинъ кейфиетини арттырды.

Мульк

Физикий хусусиетлери .	Къыймет
Темиз	＞99.99%
Сыкълыкъ	2,2г/см³
Шеффафлыкъ	＞90%
Мохлар Къаттылыкъ	5.5--6.5
Деформация нокътасы .	1280 дередже 1920 с.
Ярыкъландырув нокътасы .	1750 дередже 1750 .
Оюнджы нокъта .	1250 дередже
Ссылка (20 - 350 дередже )	670J/кг. дередже
Термик кечиримлилик (20 дередже )	1,4Вт/м. дередже
Сыджакълыкълы кечиримлилик (вес/мк,1000 дередже )	1.0-1.2
Сыныкъ индекс	1.4585
Термик кенишлетюв коэффициенти .	5.510 ^-7см/см. дередже
Сыджакъ - чалышкъан арарет	1750~2050 дередже .
Къыскъа - термин Хызметнинъ арарети	1450 дередже 1450 .
Узун - термин Хызметнинъ арарети	1100 дередже .

Химиявий хусусиетлери .	Къыймет
Экшиликке къаршы тургъан .	Кучьлю кислота(ХФ-ден гъайры),Кучьлю алкалий, органик илядж
Юксек араретлер Коррозиягъа къаршы тургъан .	Аля
Маденнинъ ольчюсиз мундериджеси .	5 мг/мл.

Электрик хусусиетлери .	Къыймет
Къаршылыкъ	710⁷Ω.cм .
Изрование Кучь .	250~400Кв/см
Диэлектрик Даимий .	3.7~3.9
Диэлектрик абсорбция коэффициенти .	＜410-4
Диэлектрик гъайып коэффициенти .	＜110-4

Механик хусусиетлери .	Къыймет
Сыгъдырыджы Кучь .	1100МПа
Букюнювнинъ кучьлюлиги .	67МПа тили
Тынчлыкъ Кучь .	48МПа тили
Пуассоннынъ нисбети .	0.14~0.17
Яшларнынъ Модулус .	72000МПа
«Модилус» .	31000МПа

Темизлев усуллары .

а. Шималий темизлев : .
Вафельни темизлейиджи къайыкъкъа къойып, сонъра темизлейиджи къайыкъны темизлейиджи къайыкъкъа батырынъыз, темизлев суву ве вафли юзю арасындаки контактны арттырынъыз, вафли къайыкъыны котерип, темизлев эффектини яхшылаштырмакъ керек.

б. Акъча темизлев : .
Темизлейиджи къайыкъны акъызма одасына тикип, форсунканы къулланып, кирлетиджилерни ёкъ этмек ичюн вафли юзюндеки темизлев сувуны сепмек керек.

в. Темизлик къайыкъларыны эмиети : .
Вафлининъ темизлигини темин этмек: ярымкечириджи чиплернинъ истисал кейфиети ичюн темиз вафли юзю пек муимдир, темизлев къайыкъ темизлев джерьянында гъает муим роль ойнай.
Ярымкечириджи чиплернинъ ишанчлылыгъыны темин этинъиз: чиплернинъ ишанчлылыгъыны темин этинъиз ве юзюнинъ кирлетиджилерини ёкъ этип, махсулат къусурларыны эксильтюв.
③ ярымкечириджи чиплернинъ махсулдарлыгъыны яхшылаштырынъыз: Вафлилернинъ темизлигини яхшылаштырынъыз, ве бунынънен ярымкечириджи чиплернинъ махсулдарлыгъыны юксельтинъиз.